设备简介：

用于检测功率模块底面弧度，可实现全自动或半自动检测。 

设备功能：

1、该设备兼容多种不同型号成品模块检测,实现5分钟换型

2、产品测量精度：±3.5um

3、重复性精度：7um

4、测量头：线激光/激光位置传感器可选

5、在可测量区域内，测量点数、测量位置、测量区域大小可随意定 

义

6、适用产品：HPD、ED、EASY等