覆铜陶瓷基板全自动SAT：

该设备用于覆铜陶瓷基板器件材料内部缺陷的定性和定量分析，它可以对器件内部的结构、夹杂物、裂纹、分层、空洞等进行检测，是提供高分辨率无损检测的重要手段。可以实现自动上下料、自动检测空洞并计算器件空洞率、自动判定产品是否合格、自动去除产品表面水分、可以实现SECS/GEM数据接口通讯等功能。